चुनौती 5nm एकल एक्सपोज़र!ASML और Zeiss हाइपर ना ईयूवी उपकरण की एक नई पीढ़ी विकसित करते हैं
ASML ने अगले दशक में चिप उद्योग की तैयारी के लिए उन्नत लिथोग्राफी उपकरणों की अगली पीढ़ी को विकसित करना शुरू कर दिया है।कंपनी के कार्यकारी उपाध्यक्ष जोस बेन्सकॉप ने खुलासा किया कि एएसएमएल और इसके अनन्य ऑप्टिकल पार्टनर कार्ल ज़ीस ने 5-नैनोमीटर रिज़ॉल्यूशन हाइपर एनए लिथोग्राफी मशीन का विकास शुरू किया है, और कहा कि यह तकनीक 2035 और उससे आगे उद्योग की जरूरतों को पूरा करने के लिए पर्याप्त होगी।
ASML ने हाल ही में उद्योग के सबसे उन्नत उपकरणों की शिपिंग शुरू कर दी है, जो 8 नैनोमीटर के एकल जोखिम को प्राप्त कर सकता है।इसके विपरीत, पुराने उपकरणों को समान प्रस्तावों को प्राप्त करने के लिए कई एक्सपोज़र की आवश्यकता होती है।
बेन्सकॉप ने बताया कि कंपनी ज़ीस के साथ डिजाइन अनुसंधान कर रही है, जिसका उद्देश्य 0.7 या अधिक के संख्यात्मक एपर्चर (एनए) के साथ एक प्रणाली को प्राप्त करना है, और लिस्टिंग के लिए कोई विशिष्ट समय सारिणी अभी तक सेट नहीं की गई है।
संख्यात्मक एपर्चर (NA) प्रकाश को इकट्ठा करने और ध्यान केंद्रित करने के लिए एक ऑप्टिकल सिस्टम की क्षमता का एक प्रमुख संकेतक है, और यह निर्धारित करने में भी एक महत्वपूर्ण कारक है कि क्या सर्किट पैटर्न को वेफर पर बारीक रूप से अनुमानित किया जा सकता है।NA जितना बड़ा और प्रकाश की तरंग दैर्ध्य, उच्च मुद्रण संकल्प।
वर्तमान मानक ईयूवी उपकरण का एनए 0.33 है, और उच्च ना ईयूवी की नवीनतम पीढ़ी बढ़कर 0.55 हो गई है।ASML NA 0.7 या अल्ट्रा-हाई NA (हाइपर NA) की ओर बढ़ रहा है, जिसके लिए कई प्रमुख प्रणालियों के रीडिज़ाइन की आवश्यकता होती है।
ASML ने वर्तमान में इंटेल और TSMC को हाई ना ईयूवी उपकरण का पहला बैच दिया है, लेकिन बेन्सकॉप ने कहा कि बड़े पैमाने पर गोद लेने की अभी भी समय की आवश्यकता है।उद्योग को पहले नई प्रणाली के प्रदर्शन को सत्यापित करना चाहिए और पूरी तरह से लॉन्च होने से पहले सहायक सामग्री और उपकरण विकसित करना होगा।"इस नए उपकरण की शुरूआत पिछले कुछ वर्षों में शुरू किए गए अभिनव उपकरणों के समान है। आमतौर पर बड़े पैमाने पर उत्पादन चरण में प्रवेश करने में कुछ साल लगते हैं। ग्राहकों को यह सीखने की आवश्यकता है कि इसे कैसे संचालित किया जाए, लेकिन मेरा मानना है कि जल्द ही उच्च क्षमता वाले चिप निर्माण प्रक्रियाओं में इसका उपयोग किया जाएगा।